二手 LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 #9245687 待售

LNI SCHMIDLIN PG-H2 100是为高精度晶圆制造而设计的自动化、高性能晶圆加工设备。这台机器适合多种应用，包括生产硅晶片、MEMS、MEMS传感器、热电堆和光学半导体晶片。它主要用于晶片的生长后加工，如干湿蚀刻、清洁、共面检查、沉积、成熟、掺杂和电迁移。PG-H2 100晶圆处理系统由两个主要组件组成：和拾取装置。该单元的拾取放置单元是一个多轴机器人手臂，可伸缩至五个轴，以处理不同的晶圆配置和拾取放置操作。它能够将晶片精确和可重复地放置在基板上。基板支架是一个可调节的框架，有一个集成的加热和冷却机器，允许易于温度的调整。该工具配有三个主要的晶片处理模块：化学应用模块、PVD模块和真空模块。化学应用模块是控制化学蚀刻精度的理想选择，其应用范围包括预清洁和清洁操作、喷涂涂层、旋转涂层和干蚀刻。PVD模块是一个真空室，用于金属、聚合物和电介质的物理气相沉积，用于沉积铝和氮化钛等半导体层。最后一个模块，真空模块，适用于包括RIE、离子蚀刻、等离子体清洗、氧化等过程。此资产专为易于安装、操作和维护而设计,具有直观的触摸屏接口和以太网连接。它还带有强大的数据管理模型和自动作业调度。LNI SCHMIDLIN PG-H2 100具有安全和操作友好的环境,具有完全封闭和通风的外壳,不需要洁净室,以及符合国际标准要求的先进安全设备。该系统能够在生产高性能晶片时考虑到精度、清洁度和精确度。PG-H2 100的精度、可靠性、灵活性和安全性使其成为各种晶圆制造操作的理想选择。