二手 MARCH iTrak #9087090 待售

MARCH iTrak是一款先进的晶圆处理设备，旨在满足研究和生产环境的需求。它提供了灵活性和可扩展性,以应对最艰难的薄膜和厚膜工艺。该系统围绕一个集中式RF/DC多向平台进行设计,使标准化和高级薄膜工艺能够在相同的高级控制下创建和维护。基板移动采用精确的多轴运动单元,可确保在不同加工站之间传输基板时的准确性和可重复性。每个站都有独立的真空控制，允许在不同真空条件下进行顺序蚀刻或沉积过程。射频发生器用于处理复杂的沉积层或提升层。这台发电机可以精确调整射频功率、频率和占空比。ITrak还包括一个先进的温度控制机器，以确保适当固化沉积材料。MARCH iTrak还设有浮床氢氟碳化合物轨道处理室，配有PFEC（光氟变色）传感工具。该腔室可确保将底物沉积到OClV-MASPR底物上时能准确接触OClVOMe。ITrak具有广泛的附加模块,例如OClV-MASPR基板RF模块、先进的过程控制模块以及热波监视器和单独的加热器模块,是高度可定制的。其他专用模块可实现独特的应用,如X射线阵列、事件晶片对准和激光示踪技术。该资产还允许使用综合软件包进行流程监控和报告。此软件从模型中的多个点收集数据,包括温度控制和RF模块。这允许用户一次查看整个过程，从而更容易诊断问题并发现改进的领域。综上所述,MARCH iTrak提供了现代研究和生产环境所需的灵活性和可扩展性。其集中式RF/DC平台提供了有效的基板传递，而其先进的温度和RF补偿则允许以精确和精确的方式沉积复杂层或升降层。该设备还支持独特的应用，如X射线阵列和激光跟踪，以及过程监测和报告能力。