二手 MATEC 10 #293667705 待售

MATEC 10是MATEC GmbH设计的最先进的晶圆处理设备。它旨在提供快速、准确的晶圆加工，在降低成本的同时提高生产率。该系统高度自动化,因此需要最少的手动处理。该单元由几个物理组件组成。机器的核心是CoreWorks UniGrid（CUWG），它有一系列的机器人技术使它能够执行各种自动化晶圆任务。它与一个双轴检查托盘集成在一起，这使得它可以在处理每一个连续的晶片之前对每一个晶片进行检查。该工具还设有主动加热加工室（AWPC），用于将晶圆含量与环境进行热化学区分，而无需使用手动温度控制。这允许精确、高质量的晶圆处理。资产可以处理直径在5到12英寸之间的晶片。它能够执行各种晶片处理操作，如晶片对准、清洁、紫外线暴露、晶片装卸、切片和激光标记等。CUWG能够根据用户选择执行单个和组晶圆处理操作。为了保证工艺可靠性，模型连续监控温度、湿度、气流、照明水平等相关工艺参数。这有助于确保以相同的方式处理每个晶片，保证一致的结果。该设备还能够存储和召回不同的晶圆加工配方，以确保不同的用户能够访问相同的配方。系统会在每个晶圆处理周期后自动清除自身，并可以自我诊断自己以检测潜在故障，并向操作员发出潜在问题的警报。这有助于确保设备保持在适当的环境条件下并防止出现问题。该机器可靠性高，能够处理大量的晶片，故障率低。此外，该工具设计为用户友好和服务友好，使其成为晶圆处理的绝佳选择。