二手 MEDEC / RIX LMXO-2000 #9386199 待售
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MEDEC/RIX LMXO-2000是一种革命性的晶圆加工设备,设计用于处理各种各样的晶圆类型和尺寸。它是一个多功能平台,结合了一组高级特性和功能,旨在最大限度地提高晶圆产量,减少周转时间。凭借其模块化设计,RIX LMXO-2000允许大量的光刻参数、计量设置和晶圆调节工具。其光刻能力允许进行广泛的曝光,从单个微米图样的精细对准到复杂的多重曝光对准。其优越的聚焦深度和特征分辨率使得该系统非常适合制造在最新技术中发现的复杂模式。先进的对齐方式,例如3D对象和3D微结构之间的对齐方式,也可以以极好的重复性来实现。另外,晶片边缘和凹口对准的自动支撑确保了晶片涂层的精确应用符合设计要求。该单元具有计量套件,允许对晶圆表面区域进行超精确测量,以及对特征形状和深度进行深入评估。这样可以表征3 D微观结构模式,从而确保制造产品的产量和可重复性。此外,计量套件与各种各样的定制晶圆测试和测量设备完全兼容。晶圆调理工具提供了一个强大的解决方桉,清洁,干燥,和抛光晶圆精确的规格。一系列尺寸和形状可以快速准确地处理,使晶片能够满足最高质量的要求。吸尘器包括清除整个晶片表面的任何污垢、灰尘和颗粒。MEDEC LMXO-2000提供了一个通用的平台来满足各种各样的晶圆处理要求。凭借其简单易用的界面、先进的特征控制、车载计量和晶圆调节工具,这台机器非常适合制造复杂的3D微结构或其他先进产品。它结合了速度、精度和多功能性,使制造商能够充分利用生产工具。
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