二手 MICROCONTROL PFM #9178488 待售

一个MICROCONTROL PFM（Photo-Flood Materials Processor）是一个最先进的晶圆处理设备，设计用于先进的半导体制造。该系统能够精确测量和确保先进集成电路和其他经过优化设计的微电子器件的精确制造。该设备是MICROCONTROL的Photo-Flood系列的最新版本,提供了一系列高级功能,旨在提高晶圆制造过程的性能、生产率和效率。它有单轴和双轴两种配置,每种配置都提供晶圆的高精度定位,并通过亚微米控制进行极其精确的处理。此配置在双级和单级设计中为设备提供了高达1.5微米的制造能力。微控制器基于机器的机电一体化高级控制体系结构,这是一个开放的体系结构,可实现快速高效的参数定义,在整个可能的应用范围内提供对每个刀具轴的高级数字控制。此外,还有一个直观的操作员界面,可全面了解成功、可重复操作和快速生产高精度半导体产品所需的所有操作条件。PFM还具有一系列专门模块，包括用于加工的精密研磨和研磨模块、用于安全和气候控制的安全访问模块以及用于实时过程控制和每个晶片质量保证的质量控制模块。还提供可选的先进激光计量系统，可对2微米以内的晶圆尺寸进行高精度测量。MICROCONTROL PFM还得益于MICROCONTROL开发的一系列专有工具，这些工具能够实现先进的工艺控制，如精确的温度控制以提高产率，以及自上而下或背面的离子铣削深达25微米以创建亚微米的器件结构。PFM具有高性能和全面的模块和工具,为先进的半导体制造提供了出色的解决方桉。