二手 MKS 1153A #77147 待售

MKS 1153A是由MKS Instruments Inc生产的最先进的其他晶圆加工设备。该系统旨在减少晶圆上产生集成电路和MEMS设备所需的时间和人工。它是一个经济高效且用户友好的晶圆处理解决方桉。该单元包括一个坚固的框架和一个用户友好的触摸屏控制器。它能够生产最小特征尺寸为200纳米的集成电路和最小特征尺寸为10纳米的MEMS设备。机器还有一个强大的3轴机械臂，能够精确和可重复的运动。它的步进电机可以以0.5微米的定位精度移动手臂，速度高达每秒6米。该工具还利用精确的温度控制资产来确保晶圆过程中的精确温度控制。1153A配有多个真空和气体输送系统，用于精确可靠的过程控制。真空和气体输送系统可以被编程为精确操纵诸如体积、流量、压力和电导率等过程参数。该模型可与包括硅、玻璃、陶瓷和金属在内的多种基板以及各种蚀刻剂、等离子体和化学品一起使用。该设备具有先进的监控和安全系统，具有多种警报和安全关闭功能。MKS 1153A是集成电路和MEMS制造业务的理想解决方桉。其精确、可重复和高效的性能非常适合其他各种晶圆处理技术。该设备对于任何已建立的电路和MEMS制造业务都是非常可靠和经济高效的。