二手 MKS / ASTEX Astron ex #293647823 待售

MKS/ASTEX Astron ex是一种精密自动化晶圆处理设备，专为最具挑战性的前端和后端应用而设计，包括光刻和电镀。该系统提供灵活性、高吞吐量和小占地面积,同时满足最严格的精度要求。MKS Astron ex提供了各种各样的工艺模块来容纳任何类型的晶圆，包括标准、定制和超高密度晶圆。ASTEX Astron ex具有直观的触摸屏界面,易于操作。它以创新的8站批量处理技术，能够每小时处理多达200个晶圆。精密的多轴运动能力使机器在模式对准方面达到亚微米精度，配准精度为+/-0.6 μ m，厚度精度为+/-0.4 μ m。Astron ex的独特功能包括晶圆质心的自动对准、自动聚焦控制、动态人脸检测和对准以及自动化的系统过度扫描。单元操作员可以在过程之前或过程中客观地检查每个晶片的对齐情况，并控制进出晶片的污染量。此外，该机器还设计了多种可选的高级模块功能，如高精度电镀、晶片对晶片联网、防污染步骤以及多个晶片处理系统。MKS/ASTEX Astron ex的模块化设计还允许方便的升级和功能添加，使用户能够快速配置机器以满足他们的特定需求。MKS Astron ex先进而坚固的工具，让製造商以安全高效的方式处理具有优异重复性和均匀性的高密度半导体器件。它模块化的设计和直观的操作使得它成为最具挑战性和最复杂的晶片应用的理想选择。