二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9165070 待售

MKS FI 20620-1是一种先进的晶圆加工设备，设计用于半导体工业中的湿化学过程。该系统具有独特的就地流（FIP）设计,可同时处理多个晶片。与传统的单晶圆处理系统相比,这允许增加吞吐量和缩短周期时间。该单元一次最多可容纳15个晶片，具体取决于具体的应用要求。机器由一个工艺罐、一个传输臂、一个分配单元、一个控制器、电源和一个过滤器/调节器组成。工艺罐采用优质不锈钢制成，密封方便高效的工艺循环。坦克内部有一系列单独的腔室，通道连接它们。转移臂用于将晶片从一个腔室移动到另一个腔室。分配单元用于将所需的化学品精确准确地分配到加工罐中的确切位置进行处理。控制器是工具的"大脑"，负责协调传递臂的运动、工艺罐的温度、工艺化学和真空压力。这样可以确保以最大的可重复性准确地执行过程。控制器还可以用来监控进程的进度，从而使结果更加一致。MKS FI20620-1还具有先进的电源设备,可为资产提供可靠的电压和电流。这样可以确保有效且高度一致地执行流程。过滤器/调节器也是一个重要组成部分，因为它有助于确保在处理过程中达到正确的气体、温度、压力和真空水平，从而最大程度地提高可靠性。FI 20620-1是一种高度先进的晶圆加工模型，设计用于半导体工业中的湿化学过程。它具有独特的FIP设计,可提高吞吐量、高精度和可重复性,并且一次最多可处理15个晶圆。它还配备了先进的电源和一个过滤器/调节器，用于为设备提供可靠的电压和电流，并确保达到正确的气体、温度、压力和真空水平。该系统是各种半导体工艺的强大而高效的工具。