二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9165071 待售

MKS FI 20620-1是为高精度、高通量操作而设计的其他先进晶圆处理设备。该系统能够处理直径达300毫米的晶片，并配有四个加工室以及两个独立的真空系统，以确保可靠性和精确度。此外，该装置还有一个精密的机器人臂，能够精确地放置和取回每个晶圆，最大位置精度为5微米。该机器还具有一个名为DELTA®的高级图形环境控制软件包。此控制包包含多种功能,为用户提供可针对特定流程进行优化的配方和设置选择。这种广泛的功能使用户能够创建简单或复杂的配方,从而轻松优化晶圆加工配方以获得产量和吞吐量。MKS FI20620-1还包含各种复杂的晶圆处理选项。这包括加载过程中用于保持晶片的卡盘对齐、自动预对齐和修补程序检查等过程。该工具还包含预对准和光片检查功能，因此可以调整工艺配方以包括对准要求。此外,该资产还具有一系列特殊功能,旨在优化工艺稳定性、产量和吞吐量。这包括一个增强的晶片传感程序，该程序监测晶片轴上轮廓误差，稳定工艺基础环境，以及压力控制和二阶跟踪，以便在前端进行工艺稳定。总体而言,FI 20620-1是一种功能强大且精确的其它晶圆处理模型,它使用户能够创建复杂的配方并优化流程以提高产量和吞吐量。该设备具有多种复杂的晶片处理、离轴对准、预对准和光片检测功能,并具有增强的晶片传感程序,使其成为精确、高通量操作的理想选择。