二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9204069 待售

MKS FI 20620-1是其他晶圆处理设备的一种，广泛用于精密晶圆处理应用。该系统由世界领先的分析和过程控制仪器制造商之一MKS Instruments提供。MKS FI20620-1是一个多合一单元，是一个单臂机器人，集成了各种基于晶圆的处理的自动化处理选项。该刀具的机器配置包括气缸、框架组件和中央处理器（CPU）。气瓶用于晶片处理作业中的口罩和晶片对准。它有一个单臂机器人，能够同时处理多达三个任务。框架组件负责在晶圆处理操作过程中提供必要的安全保护。CPU控制资产所有元件的操作，包括气瓶、框架组件和单臂机器人。FI 20620-1的特点包括多级真空晶片处理、包括自旋蚀刻和后蚀刻在内的一系列自动化处理操作、一系列OVF清洗和沉积过程以及晶片验证。它还能够进行先进的晶圆扫描和分析，并具有内置的数据采集和显示模型。此外，设备采用安全元件，确保系统运行过程中的安全。总之，FI20620-1是一个用途广泛、可靠、高效的晶片处理单元，非常适合精确的晶片处理应用。它具有坚固而强大的气缸和框架组件,以实现最佳的安全性,以及先进的单臂机器人,以提高生产率。这台机器提供的自动化加工操作非常广泛，包括自旋蚀刻和后蚀刻、OVF清洗和沉积工艺、先进的晶圆扫描和分析以及内置的数据采集和显示工具。因此，MKS FI 20620-1是精密晶圆处理操作的理想资产。