二手 MKS ASTeX FI20620-1 #9204070 待售

MKS ASTeX FI20620-1
ID: 9204070
2L Remote plasma source.
MKS FI 20620-1是一种其他晶片处理设备,能够实现晶片的高通量处理。该系统是一个模块化的自动化平台,可用于各种应用,如晶圆变薄、材料沉积、湿法和干法蚀刻、制图和表面处理。MKS提供的高效设计和先进的过程控制技术FI20620-1实现前所未有的吞吐量和可靠性。FI 20620-1是一个集成单元,包含一系列用于所需处理的各个步骤的腔室。它由一个高端控制器、一个运动控制包和一系列可以定制以满足特定应用需求的处理模块组成。一个高价值的真空泵站也与单元集成在一起,以确保工艺室的高效疏散。独特的FI20620-1设计允许晶圆加工的高通量。这台机器是为在腔室之间快速转移材料而设计的.此外,还可以根据所需的输出对流程设置进行微调。这可以通过采用先进的模模反馈来实现。这样可以确保在整个处理过程中精确地维护指定的参数,从而获得更高质量的产品。MKS FI 20620-1的模块化设计是一个优势,因为它允许用户根据自己的需求定制工具。这允许用户选择所需应用程序所需的光学、物理和化学过程的正确组合。此外,资产还配备了许多诊断功能,使用户能够监控模型的功能和性能。最后,设备为用户提供了高度的安全性和可靠性。晶片处理系统通过了最高安全标准的认证,确保设备的运行不受污染或损坏加工过的晶片的风险。此外,该机器还具有多种内置的安全机制,可以防止错误、事故和故障。综上所述,MKS FI20620-1是一种可靠、高效且高通量的其他晶圆处理工具。它配备了先进的控制器和运动控制包,在处理晶片时能够实现高度的灵活性和准确性。模块化设计允许用户根据自己的特定需求定制资产。最后,该模型通过集成的安全机制为用户提供了高度的安全性和可靠性。
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