二手 MKS AX 7685-33 #293640014 待售

MKS AX 7685-33
製造商
MKS
模型
AX 7685-33
ID: 293640014
Remote Plasma Source (RPS).
MKS AX 7685-33是为复杂精确的电子器件制造而设计的最先进的晶圆加工设备。利用先进的加工技术和软件应用,实现亚微米精度的高精度晶圆加工。该系统支持多种晶片材料,如硅片和砷化氙(GaAs)。它具有用于优化和监控处理速度、温度和压力的集成控制单元,从而实现一致和可靠的结果。该单元可以同时处理多个晶片,从而实现更快、更高效的生产。AX 7685-33配备了模块化半导体封装,具有模具附着头、模具粘合头、晶圆散热器等多种元件。还配备了板载、嵌入式实时计算机,用于高级机器控制和软件,用于管理批处理、数据记录等功能。该工具可以沉积、蚀刻和蚀刻清洁晶片,以及连接和封装VLSI芯片。这是非常精确的模具连接头可以放置,对准,并以最小的对准误差检查每个模具。该资产的微型喷嘴设计适合与更精细的颗粒一起使用,允许精确的材料沉积。此外,它的双射流并联蚀刻能力可以提高蚀刻速率,大大减少过度加热造成的晶圆损伤。该车型配备了安全联锁、自动气体控制和压力通风等多种安全功能,提供防尘污染等安全隐患。该设备还包含用于监控、诊断和控制过程参数的各种工具和软件。此外,系统直观的人机界面有助于管理和控制复杂的过程。综上所述,MKS AX 7685-33是一个高度先进的晶圆处理单元,能够以精确可靠的方式处理复杂、困难的处理作业。其先进的软件、安全协议和控制接口使其成为大型和小型晶圆生产的理想选择。
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