二手 MKS FI 80131 #9165072 待售

MKS FI 80131是另一种由MKS Instruments开发的晶圆处理设备。这种自动晶片处理系统旨在为每个处理过的晶片提供可靠、可重复的性能。它采用集成设计,使单个机器人能够将每个晶片或晶片堆栈从负载端口传输到加工室。自动传输臂将每个晶片定位在腔室的加工区域中,从而能够根据晶片的尺寸、材料和厚度准确确定工艺参数。MKS FI80131的腔室装有一个高压化学气相沉积（CVD）单元，为一致、均匀的晶片涂层提供了最佳条件。泵降速度可调，以适应不同的工艺要求，可以在压力和真空模式下操作。另外，腔室的温度范围在-20°C至+400°C之间是可调的，使其适合于氧化、氮化、退火和扩散等多种过程。这台机器还配备了全自动隔离阀（IPV）工具，这是一个安全功能，允许腔室内的任何被困气体迅速返回大气层。IPV资产还有助于将预定的气体量引入腔室，从而能够形成具有可重复厚度的精确定义层。为确保晶片层的最大质量和均匀性,此型号配备了高级软件包,可完全控制所有工艺参数。该软件允许用户轻松存储工艺配方、调整设定点以及监控晶圆温度、压力和降泵速度。实时监控和测井功能还使用户能够记录每个晶片层的温度、压力和沉积速率等重要腔室条件。FI 80131非常适合用于学术和工业晶圆制造环境,既可靠又易于操作。其创新的设计和集成的软件设备确保了晶片层一致性和质量的最高水平，使其成为任何晶片处理应用的理想选择。