二手 MKS FI80132 #293628188 待售

MKS FI80132是一种用于半导体和MEMS制造的高功率自动化晶圆加工设备。该系统旨在在各种各样的环境中快速加工晶片，并支持多种制造技术，包括PECVD和ALD。FI80132单元装有直径300毫米的晶片托架、滑出晶片盒和300毫米晶片负载锁。它是一种多功能、高性能的机器,可以扩展以适应各种制造要求。该工具使用真空桶定位和定位晶片进行处理。它使用可编程的x-y晶片级在多个加工站间移动晶片批次。这使得大批量晶片可以在短时间内快速处理。资产配备了几种自动化功能，如条形码扫描和模式识别。这样可以减少晶片的手动处理,从而提高效率。此外，高工艺温度的保持得益于先进的大气和温度包。该模型还采用了自动清洗/清洁工艺，可提供卓越的晶圆清洗效率。该设备还配备了先进的晶圆传输系统，可沿大型加工路径提供快速、可靠的传输。MKS FI80132是一种超高真空装置,如果配置正确,能够达到25 mTorr的基本压力。这对于防止可能破坏过程的颗粒形成很重要。先进的气体机和气流控制器进一步降低了颗粒污染的可能性。该工具还配备了多种流程监测系统，包括用于检测/识别流程目标的全方位红外和激光系统。这提供了精细的过程跟踪,可以进行高效的分析和控制。总体而言，FI80132是一种自动化晶圆处理资产，旨在促进高效可靠的半导体和MEMS制造。它是一个融合了条形码扫描、模式识别、清除/清洗过程、气流控制器和过程监视器等多种先进技术的创新模型。这种功能组合极大地提高了处理效率,从而加快了上市时间并降低了成本。