二手 MKS Revolution Series #9103292 待售

MKS Revolution Series是一个完整、集成的生产平台，用于其他晶圆处理。Revolution系列专为过程控制和过程集成而设计,在一系列配置中提供卓越的性能和更高的可靠性,以满足当今不断发展的晶圆处理的需求。通过结合最新的硬件、软件和技术,MKS Revolution系列平台为所有其他晶圆处理应用程序提供端到端的过程控制。Revolution系列具有集成的高温快速热处理（RTP）室,可用于晶圆的最新生产。该平台为需要极其精确的晶圆处理条件和最大吞吐量的应用程序提供了无与伦比的准确性和可靠性。高精度的数据捕获和过程执行功能能够实时监控晶圆过程参数和性能。MKS Revolution系列还为过程优化提供了高级功能。它的多感测过程监测系统提供了对一系列过程参数的准确和全面的控制。Revolution系列包括用于快速可靠晶圆操作的高级内存管理功能。其先进的温度控制机制可确保对过程温度的精确控制,从而实现过程中所有晶片的温度均匀性。此外，MKS Revolution Series配备了用于高级等离子体蚀刻、激光烧蚀和掩蔽处理的大功率射频发生器模块。其快速开关射频电源可实现高达20 MHz的实时功率调节,有助于优化过程控制和优化晶圆性能。Revolution系列具有独特的高精度光学工具集,具有各种镜头和舞台,可在晶圆处理过程中精确对准。该系列的集成、低功率激光器提供卓越的晶圆接合精度和高精度脉冲控制。晶圆处理和处理系统的组合确保了最大质量性能。MKS Revolution系列是现代高性能其他晶圆处理的理想平台。其强大的功能为晶圆处理应用程序提供了过程稳定性和终极控制。凭借强大的设计和先进的功能,Revolution Series为其它晶圆处理提供了更高的产量和更低的拥有成本。