二手 MKS RPS 2L #9052456 待售

MKS RPS 2L是一种多晶片、高通量、晶片处理设备，专为满足后端半导体工艺日益增长的需求而设计。RPS 2L是为高精度晶圆处理而构建的功能齐全的晶圆工艺系统。针对RTP（快速热处理）、ECD（电解化学沉积）、光刻和溅射等精密应用进行了优化。MKS RPS 2L提供高精度、少缺陷、提高产量和工具可用性。RPS 2L具有直观的HMI,可在最短的安装时间内轻松操作和控制过程。该设备能够在单个盒式磁带中处理多达200毫米晶片,从而实现了巨大的吞吐量和高产量。此外,它还提供了对均匀性、温度和工艺时间的精确控制。这台机器还配备了自动晶圆传输,最小的手动处理.这有助于减少污染,并为广泛的生产需求节省成本。此外，MKS RPS 2L采用耐用不锈钢制造，具有高效的热管理，降低了拥有成本。它还提供了出色的温度均匀性跨晶片改进过程控制和精度。为了进一步优化效率,该工具还具有集成真空室,可最大程度地减少晶圆温度变化,并减少由于维护要求而导致的停机时间。最后,RPS 2L采用模块化设计,是资产升级或扩展的理想选择。这样可以快速周转和节省成本,并且可以灵活地满足各种需求。总体而言，MKS RPS 2L是一种有效、高精度的晶圆工艺模型，为广泛的后端半导体工艺提供了完美的解决方桉。