二手 MODICON M100D #9058165 待售

MODICON M100D是一种中等功率的多用途晶片处理设备,旨在为各种基于硅的元件提供最高的精度和速度。其高效可靠的运行使其成为广泛应用的理想选择，如内存技术、高功率光伏设备、微处理器等。M100D配有四个晶圆加工站，最多可同时处理四个晶圆。该站可配置为执行酸蚀刻、湿蚀刻、干蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体蚀刻、热处理、溅射沉积等多种工艺操作。该系统还包括高达200 °C的精确温度控制、高达+-200伏的高压控制、高精度气态分布以及自动晶圆处理单元。为了确保可重复、准确和可靠的结果，MODICON M100D依靠其坚固的真空室进行优化，以适应快速可靠的循环时间，减少粒子产生，提高产量。其用户友好的图形界面允许简单的操作和维护，而直观的设置和监控过程简化了操作。除了多用途的晶片处理能力外，M100D还包括先进的监测系统，这些系统对关键的处理参数提供全面的监测和分析，允许实时行动以确保最高质量的结果。它还具有集成的信息机器,可以记录和存储关键的处理参数,并且可以远程访问以进行安全的查看和控制。MODICON M100D提供了可扩展的生产选项,结合其可靠和精确的操作,以满足各种应用程序的需求。结合用户友好的功能、高级诊断工具和可靠的周期时间,M100D是许多高级晶圆处理应用程序的有效解决方桉。