二手 NEWTECH WAVE HSC650 #9282772 待售

NEWTECH WAVE HSC650是用于先进半导体研发的高端晶圆加工设备。在其核心，HSC650是一个功能齐全的晶圆处理系统，设计先进的光刻，薄膜沉积，电化学蚀刻，离子植入能力。该部门自然地与流程控制系统和软件工具相结合，以改善自动化和工作流程。对于先进的光刻技术，NEWTECH WAVE HSC650配备了一个高度精确和稳定的激光掩模写入器，以及一个先进的扫描电子束（SEB）柱，设计用来书写极细线特征的图样特征。该机器具有增强的光学和覆盖能力，非常适合在晶圆上产生有序、高对称的图桉。对于薄膜层沉积，该工具提供精确均匀性的亚像素级分辨率，适合完成复杂层结构。该资产标配四合一直写沉积，提供PVD、ALD、MBE和GBPA协议，这些协议都设计用于与配方控制软件接口，以方便沉积过程。HSC650还提供了电化学处理功能,使其适合制造复杂的3D图样以及晶圆表面的功能特征。该模型还提供了全系列的离子注入能力和变速控制，以确保精确度和过程稳定性。NEWTECH WAVE的所有功能都安装在一个环保的设计中，它提供了一个坚固、还原的清洁设备，使系统运行过程中释放到环境中的有害物质数量降至最低。总体而言，HSC650是一个先进的晶圆处理单元，旨在帮助推动先进半导体研发的界限。该机具有多用途、精密的光刻、沉积、蚀刻、植入能力，为生产前沿产品提供了完美的平台。