二手 NEXGEN Glovebox #293821454 待售
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ID: 293821454
Glovebox
Left Module: 4‑Port D, 60" deep
System Junction Box: 20 A electrical service
(1) VAC 108438 Vacuum oven, 600 °C, with controller and 6.9 CFM Pump
(1) VAC 110956-02 Cold storage system assembly, CS-40+, RH, 110 V, 60HZ
(1) VAC 109741 System assembly, 4 Port, S size, 110 VAC
Antechambers:
(1) VAC 110404 T-Antechamber, 15" x 35", stainless steel
(1) VAC 100734 Antechamber, 6" x 12", stainless steel
(1) VAC 109950 Antechamber control kit, manual
(1) VAC 100618 RV8 Vacuum pump, 6.9 CFM
(3) VAC 2682-2 Gloves, 0.030" thick butyl rubber
(3) VAC 109624 Oxygen purifier system assembly
(3) VAC 109625 Moisture purifier system assembly with solvent
(1) VAC 110000 Moisture analyzer
(1) VAC 109902 Oxygen analyzer
(8) VAC 100627 BNC Feedthrough interface assembly
(6) VAC 102833 KF-40 Interface assembly
(2) 45 mm Feedthrough port
(1) VAC 101807 Storage kit, shelves
(2) VAC 102370 Duplex J-box assembly with 10 ft line cord and NEMA 5-20 plug, 20 A
(1) VAC 104162 Internal evacuable glove port cover.
NEXGEN Glovebox是一款先进的晶圆加工设备，旨在为半导体制造过程提供受控环境。该系统专门设计用于在清洁和无污染的环境中处理细腻敏感的材料，如晶片。手套箱配备了一系列功能和技术，能够对晶片进行精确高效的处理，使其成为半导体制造商的宝贵工具。NEXGEN Glovebox的关键特性之一是模块化设计,它允许轻松定制和可扩展性,以满足不同制造过程的特定要求。该单元通常由多个模块组成，包括一个主处理室、处理晶片的手套端口、气体净化和分配系统以及控制系统。这些模块可以用不同的方式配置，以适应各种处理需求，如沉积、蚀刻、清洗和检查。手套箱主加工室由优质材料构成，具有优异的耐化学性和耐用性。该腔室设计用于保持低水平的氧气和水分，以防止晶片在加工过程中受到污染。此外，腔室还配备了HEPA过滤机，用于清除空气中的颗粒和杂质，确保晶圆处理的清洁环境。NEXGEN手套箱上的手套端口旨在为操作员提供一种方便且符合人体工程学的方式来处理腔内的晶片。这些端口配有由高品质材料制成的、耐化学物质和耐磨性的手套。手套的设计提供了一个舒适的配合，并允许在加工过程中精确操纵晶片。此外，手套口还配有传感器和联锁装置，以确保操作员安全，防止腔室受到污染。手套箱的气体净化和分配系统设计用于在加工过程中提供室内的受控气氛。这些系统配备了先进的过滤器和传感器，用于监测和调节气体水平，如氮气、氙气和氧气，以满足不同制造工艺的具体要求。气体分配系统配有质量流量控制器，能够精确控制气体流量，确保晶圆的均匀处理。NEXGEN Glovebox的控制工具是一个复杂且用户友好的界面，允许操作员实时监控和控制处理参数。资产配备了触摸屏显示屏，提供对一系列功能的访问，如设置流程配方、监控气体流速以及调整温度和压力水平。控制模型还配备了数据记录和存储功能，使操作员能够跟踪和分析处理数据，以便进行质量控制和过程优化。总之，Glovebox是一种先进的晶圆加工设备，为半导体制造提供先进的能力。NEXGEN Glovebox具有模块化设计、精密处理功能、受控环境和用户友好的控制界面,是寻求实现高质量高效晶圆处理的半导体制造商的宝贵工具。
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