二手 OLEE CD-7820A #9401121 待售

OLEE CD-7820A是一种先进的自动化晶圆加工设备,旨在优化和简化工业操作。系统处理标准和导电晶片，以及CMP和光刻等特殊材料。它提供了许多选项，包括电子测试、高速数据映射、晶圆奇异和激光加工。OLEE具有一系列功能,包括可容纳350 mm晶圆尺寸、光罩基板和翻转芯片处理功能、多区域温度控制和高速数据处理。该单元还配备了先进、高精度的运动控制机，具有可选和可调的驱动范围，以及集成的摄像头工具。该工艺室围绕真空下行流动模式设计，并配有创新的真空喷射器，可用于提高温度均匀性和工艺浴效率。腔室在高真空环境下运行，指定的工艺压力范围为0.25-.5 Torrs。OLEE还配备了用户友好、可编程的界面和直观的机器控制资产，可以方便地定制流程和改进流程控制。它带有用于外部和内部温度控制的模块，以确保大气的所有热点都得到控制。用户还可以定义和选择一系列参数,例如速度、加速度和过程时间。CD-7820A还提供了广泛的安全功能,包括安全的访问控制模型、激光安全互锁、安全锁定设备和一系列传感器,以监测过程活动和性能。该系统还提供可选的中央控制工作站和用户友好软件，旨在简化单元操作和维护。OLEE CD-7820A提供全面的服务和支持包,因此用户可以确保每次都具有可靠和高效的性能。对于在工业环境中需要高精度、高性能晶圆处理的任何应用来说，它都是理想的选择。