二手 ORBOTECH Precise 800 #9312577 待售

ORBOTECH Precision 800是一种晶圆处理设备，用于光伏、MEMS、金属化和印刷工艺的各种应用。它提供了一个高精度的自动化平台，为要求最苛刻的应用程序提供可靠和可重复的晶圆处理结果。精确800包括一个高精度的6轴机器人系统，集成到一个紧凑和空间效率的物理设计。它在集成的接收床上提供最大400 x 400 mm的非水平工作区域,可根据需要进一步容纳更大的基板。机器人提供800毫米的触角，最大方向精度为2微米，分别为x、y和theta。这样可以高效、准确地放置和拾取各种操作员或分期区域的基板。ORBOTECH Precision 800还具有高速线性运动级，提供400毫米的线性运动范围和20微米的精确精度。这样就可以快速准确地转移放置在集成接收床上的基板。集成线性运动级进一步提供了比使用常规电动级的解决方桉更高的速度。此外，Precision 800具有高速、高精度的运动控制单元，提供出色的晶圆对准和放置性能。这样可以确保在所有方向的基板上进行准确和高效的晶圆处理。此外，机器还提供集成的内存和运动控制功能，使可重复和精确晶圆处理操作。总之，ORBOTECH Precision 800是一种高精度晶圆处理工具，旨在满足各种光伏、MEMS、金属化和印刷应用的要求。该资产提供了一个集成的机器人、线性运动阶段以及高速和高精度的运动控制模型，允许可靠和可重复的晶圆处理结果。