二手 PBT Miniclean #9313059 待售

PBT Miniclean设备是一种全自动、高精度的晶圆清洗系统，提供了一种安全、可靠、经济的半导体晶圆集成电路开发制造方法。该装置包括一个冲洗前站、一个加热的单级喷雾清洗站和一个冲洗后站。在预冲洗站，进入的晶片用洗涤剂溶液预先清洗，然后用去离子水冲洗，从而清除其表面的总颗粒物碎片。在加热的单级喷雾清洗站，晶片在特定温度下暴露于蚀刻剂或清洁剂中。这样做几分钟，根据应用可能会使用各种蚀刻剂。在蚀刻过程之后，晶片被提升到一个温度，使清洁剂和晶片表面残留的任何颗粒物都能彻底冲洗掉。最后，冲洗后站用于干燥晶片。Miniclean还配备了独特的机器人晶片处理机，用于晶片的精确定位，以及集成的晶片装卸站，便于处理。该机器人工具具有安全联锁资产,可保护操作员免受设备故障造成的事故,以及污染控制模型,该模型可回收、过滤和蒸馏清洁剂,以提高利用率。该设备还包括一个真空系统，用于在必要时改变清洗室的压力，以及一个专门的晶圆监测装置，用于检测和记录清洗过程中发生的任何缺陷。机器采用手动、半自动或全自动模式操作，为用户提供对温度、清洗时间、漂洗化学等工艺参数的全面控制。使用PBT Miniclean结合一流的工艺配方，操作员可以实现无缺陷的清洁，降低运营成本。此外，其用户友好的设计允许简单的安装和维护。该工具适用于洁净室环境，可用于从掩蔽、洗涤到蚀刻、化学/机械抛光等多种晶圆加工应用。