二手 PERKIN ELMER / WALLAC Trilux Microbeta 1450 #195143 待售

PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450是一款最先进的其他晶圆处理设备,设计时考虑到了最高的性能和可靠性。它具有三轴、高精度、气动驱动的晶圆传递机器人，用于可靠、精确的晶圆定位和处理。该机器人设计独特,允许晶圆在XY和Z平面中旋转。此功能提供了极大的灵活性,并允许系统用于各种应用程序。此外，机器人可以编程为以最佳速度移动，以确保精确的精度和可重复性的运动，所有这些都不牺牲速度。WALLAC Trilux Microbeta 1450设有使用多个加热独立区的先进热处理站。它还设计了一个专用的表面采集站，允许自动调节卡盘温度和处理参数，如射频功率和偏差。此功能有助于实现卓越的一致性和生产率,同时降低成本。此外，PERKIN ELMER Trilux Microbeta 1450提供了一个精确和自动化的液体分配站，用于可靠和可重复的液体化学分配。此功能使设备可用于多种湿法过程,如化学蚀刻、表面处理和涂层。最后，Trilux Microbeta 1450具有视觉增强精度检查，为全面的晶圆质量控制提供了确凿的结果。总体而言，PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450是一种理想的其他晶圆加工机，用于高通量和高精度的操作。其机器人晶片传输、先进的热处理站、液体分配站、视觉增强精度检测，都有助于提供最高可靠性的优异效果。该工具非常适合于各种行业的应用，包括半导体和电子制造、太阳能光伏和生物医学工程。