二手 PNT 15C-HS-IRU-800 #9308424 待售

PNT 15C-HS-IRU-800是一种专门的晶圆加工设备，旨在支持现代集成电路精密基板的高效制造。该系统配备15英寸晶圆载波单元、多区高速红外加热（HS-IR）灯，以及能够在加工过程中精确控制温度和湿度条件的闭环冷却机。15C-HS-IRU-800工具的核心是其高精度的加热/冷却资产。该型号采用石英红外（QIR）加热器,可提供高达900 °C的均匀加热,并配备高达1,200升/分钟冷却水流量的高流量冷却设备。该系统通过直观的用户界面实现自动化,使操作员能够使用几个简单的命令来控制所有参数。该装置设有自动废物收集机、热图和三维模型查看器，可实时查看晶片底面。PNT晶片载体工具被封装在密封的加工室中，具有10微米的分辨率，用于精确的基板运动。它支持高达15英寸的晶片，可以很容易地升级为更大的基板。载波资产支持多种应用模式，如圆形或直线运动。它也很容易针对不同的基材形状和特定的应用要求进行定制。该模型支持多区域和多角度加热/冷却操作。HS-IR灯提供高达900°C的高功率均匀加热,并对每个区域进行独立控制。灯具对环境条件敏感，如湿度，设备可自动相应调整加热过程。该系统还可以为更高的温度配备额外的集中供暖选项。PNT 15C-HS-IRU-800是一个精心设计和彻底测试的单元，旨在支持最高质量和精密的晶圆制造。它提供高效的处理、精确的控制和可靠的性能。本机附有延长保固及全面的技术支援包。该工具非常适合高精度晶圆加工至关重要的集成电路制造。