二手 PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414 待售

PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3晶圆加工设备是一种先进的工业工具，旨在支持全方位的微电子器件制造工艺。它具有集成的机器人系统和各种先进的过程控制技术，以及一个优秀的过程配方库。该设备经过优化,可高效、精确和可重复地生产复杂的电子和光子学设备。该机包括一个集成的3轴机器人处理单元，可以移动180毫米晶圆和图样传输/沉积子阶段，具有精确的运动控制和精确的晶圆位置/方向。它还提供三个腔室和一个匹配的晶圆传递腔室，允许精确的温度、压力或真空控制。该工具具有直观的用户界面和强大的编程和数据采集软件包,可轻松设置用于掩模对准、沉积、氧化蚀刻、抗开发、湿洗和干洗、激光制图和集成其他定义的工艺序列的工艺配方。集成控制资产旨在保证精确的过程控制和可重复的结果，从而确保最大的性能和收益。它允许沉积、对准和光学蚀刻以及掩模制作完全自动化。它有多达48个单脉冲或双脉冲过程，对多个腔室的变频控制，可变时间控制功能和粒子过滤。其激光光刻能力包括Gen2激光制图、交替激光制图和低k介电蚀刻。该模型还通过目视检查设备提供高级流程监控功能。GEMETEC WSPS-3还具有出色的安全功能,例如安全带、所有过程模块和机器组件上的紧急停止按钮。它满足高精度要求，具有低压操作、最小热输出和高性能等某些特性。具有优良的热管理系统,可改善热分布,改善层均匀性.该单元还与自动化测量仪器兼容，使其成为复杂晶圆加工的绝佳选择。