二手 RICOR BS31A005A #9314241 待售

RICOR BS31A005A是为各种应用而设计的先进晶圆处理设备。这是一个高度可靠的系统，提供最佳的性能和耐用性。该单元由两个组件组成：扫描仪和工艺室。该机的主要部件是光学扫描仪--一种具有高精度X射线聚焦光学元件的精密扫描仪。扫描头配有彩色CCD相机，能够捕捉精细细节，检测晶圆表面的微妙缺陷。该扫描仪的设计目的是对直径不超过375毫米、厚度不超过25毫米的晶圆表面进行高速、精确的扫描。该工艺室设计用于容纳扫描头，并包含各种专门的工艺模块。配备高速转盘台、运动台、加热平台、真空泵等。该室的运动阶段设计用于精确控制基板位置，从而实现所需的加工参数。而且，高度精确的加热平台确保整个腔室的温度分布均匀，使得晶片的处理均匀。此外,还建立了安全锁和密码验证等安全功能,以保护晶圆处理工具免受未经授权的访问。此外，先进的数据记录和分析能力能够跟踪与进程有关的事件，并为进一步分析收集数据。总之，BS31A005A是一种先进的晶圆处理资产，专为各种应用而设计。它具有高速、精确的扫描、统一的处理以及最重要的安全访问功能。利用其功能，对模型进行了优化，以提供高效、可靠、精确的晶圆处理。