二手 RITEC BR-640 #293667694 待售

RITEC BR-640是为半导体和MEMS应用而设计的先进晶圆处理设备。该系统设计坚固，可加工直径达6英寸的晶片，并具有各种功能，可满足晶片级加工的要求。该装置采用双进动涡轮分子设计的强大真空，为工艺室提供稳定一致的环境。它还具有先进的等离子体发生器和集成的自动调谐模块，以提高等离子体均匀性。该机包括一个冷却工具，旨在保持室内恒定温度，以及一个单独的超低压调节器，以更好地控制工艺参数。沉积资产配备了多种氧化沉积源，使其能够处理各种先进的工艺配方。它具有执行各种过程的能力，包括氧化、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、物理气相沉积（PVD）、反应性离子蚀刻（RIE）和离子铣削。该模型是为最大程度的过程灵活性而设计的，包括一个复杂的自动化设备，允许用户编程复杂和复杂的蚀刻和沉积配方。该系统具有强大的视觉单元，可提供晶圆表面的高分辨率成像。这使操作员能够轻松地监视武器生产的不同阶段，并确保高质量的产品。机器还包括先进的粒子控制监控，确保在过程之前和过程中清除任何不需要的粒子。该工具的设计便于使用和维护。它包括集成的维护工具和自动清洗，以确保资产始终处于最佳状态。它还包括一个高级诊断模型,使操作员能够在产生重大问题之前快速轻松地识别任何潜在问题。总体而言，BR-640是一种先进的晶圆加工设备，旨在满足半导体和MEMS应用的苛刻要求。它旨在为各种晶圆和复杂的工艺配方提供灵活而强大的工艺。该系统还易于使用和维护，具有先进的视觉单元和粒子控制监控，以提高工艺质量和效率。