二手 ROBOTTONICS ZMU 100P2 #293622168 待售

ROBOTTONICS ZMU 100P2是一种先进的晶圆加工设备，设计用于晶圆平面化和平滑的精密自动化。该系统采用专有的两相IC工艺，结合低压化学机械平面化（CMP）和先进的表面抛光技术，产生光滑、均匀的表面。该单元配备了以可调节速度移动的高精度机械臂，可以对圆形和方形晶片进行精确处理。机器人可以按照特定的模式进行编程，使其适合处理各种类型的晶圆。ZMU 100P2提供卓越的准确性和可重复性。它有一个载荷高达100公斤的移动平台，并且可以处理高达200毫米的大型晶片。该机一次最多可容纳六个晶片，并配有一对滚带晶片托盘，以便对个别晶片进行高效、安全的处理。使用滚带托盘不需要人工传输晶圆,从而实现平稳高效的工作流程。ROBOTTONICS ZMU 100P2配备了先进的运动和成像技术，可以检测晶圆的轻微失调并提高平面化精度。它还具有自动检测和校正模具问题的功能，从而防止了平面化方面的不规则性，并提高了表面的平滑度。此外,ZMU 100P2具有高度的自动化和工具控制,具有用户友好的界面和可定制的设置,允许用户创建优化晶圆处理的特定配方。该资产适用于广泛的晶圆沉积和CMP应用，包括用于太阳能电池制造的平面化晶圆，精密元件的喷丸，半导体材料的CMP。ROBOTTONICS ZMU 100P2具有先进的成像、运动控制和自动化功能,是各种晶圆加工的可靠且经济高效的自动化解决方桉。