二手 SARTORIUS TOWER QRJ #9215490 待售
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SARTORIUS TOWER QRJ是一种高度先进的自动化晶圆处理设备,专门设计用于高精度和超小型半导体的多级组装、测试和封装。它是用于半导体制造生产线的高通量系统的理想解决方桉。TOWER QRJ利用多项先进技术提供最大性能。它采用模块化设计,可选择半吨模块化塔式或紧凑的单帧系统,以适应各种工艺尺寸。它还具有高精度、三维(3D)视觉技术,在处理时保证晶圆精度。SARTORIUS TOWER QRJ提供高度灵活的高速模块化选项,以简化频繁的产品变更,并将周期时间和成本降至最低。集成的高速晶片分选和处理功能使晶片分选、装卸效率高、精度高。机器人臂可根据用户的需要进行编程,以便于调整晶圆运动。此外,该单元还包括用于精确晶圆定位的自动对准功能,从而实现最高的效率和质量。TOWER QRJ提供对工艺参数的精确控制,以确保每个晶圆的结果一致。借助一系列集成传感器,机器能够提供有关压力、温度和湿度等变量的实时信息。此外,该工具还具有智能过程控制算法,以实现最佳的集成和自动化。SARTORIUS TOWER QRJ的高级自动化使得在同一设备中进行各种晶圆处理步骤变得容易。它支持光刻涂层、光学检查、清洁、干蚀刻等印刷工艺。其集成的虚拟晶片源允许单个晶片处理,从而延长晶片的使用寿命。最后,TOWER QRJ具有直观的用户界面,可以轻松操作和控制机器。资产还提供内置的安全功能,以防止在处理过程中发生滑动、短路、马达卡住和其他故障。凭借SARTORIUS的最高品质和可靠性能,SARTORIUS TOWER QRJ是满足多级晶圆加工和包装要求的理想选择。
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