二手 SATISLOH ART Blocker A #293828554 待售

SATISLOH ART Blocker A是另一种先进的晶圆处理设备，旨在提供高吞吐量、精确、可靠的结果。该系统配备了专利的"跟踪单元"，利用三维机器视觉技术检测和连续跟踪形状不规则的晶片。它能够以低成本检测、记录和定位晶片,同时消除任何隧道错误。追踪机能够在各处理阶段间移动晶片，包括光刻胶分配、胶带分配、涂层、折射率测量、晶片厚度测量和晶片清洁。该工具配有静电执行器以高精度将光刻胶分配到晶片上。该执行器能够精确放置最小液滴尺寸为150纳米的光致抗蚀剂。此外,资产的可变光学进给喉咙可提高光刻胶分配过程的吞吐量,从而获得更精确、更高效的结果。该型号还具有获得专利的用于精确磁带分配的柔性驱动器设备。该驱动器系统能够自动控制磁带分配喷嘴与晶片之间的间隙距离,从而获得高效、精确的结果。另外，该单元还配备了三个独立的运动轴，允许晶圆的精确和灵活的涂层。为了保证精度和生产率，该机还配备了自动对焦折射率测量工具。该资产能够测量加工过的晶圆表面的折射率，并能提供精确的结果。此外，该模型还配备了晶圆厚度测量工具，利用X射线技术精确测量晶圆厚度。最后，设备配备了晶圆清洗系统，能够清除任何表面污染，包括挥发性有机化合物和颗粒。该晶片清洗装置由喷嘴和刷子组成，能够为所有类型的晶片表面清洗提供优化和高效的清洗过程。总之，ART Blocker A是另一种先进的晶圆加工机，旨在提供精确、可靠、高吞吐量的结果。该工具的专利跟踪资产、静电执行器、可变光学进给喉咙、柔性驱动模型、自动对焦折射率测量设备、晶圆厚度测量工具和晶圆清洗系统都是使该单元成为高效、精确结果的绝佳选择。