二手 SC FLUIDS MEMS Dryer #141020 待售

SC FLUIDS MEMS Dryer是一款最先进的晶圆加工设备，设计用于微型机电系统（MEMS）生产。该烘干机利用SC Fluidic Technolgy的专利加热蒸气技术来干燥MEMS制造。该系统具有极低的热力预算,并且在干燥时具有卓越的均匀性。它是为MEMS晶片多孔层最高效、最精确的干燥而设计的。MEMS Dryer是一个全封闭式、批处理单元，可以处理各种晶圆尺寸，直径从200到400毫米。机器提供了一个干净、无细菌的工作环境。它还配备了真空工具，可以在高达100 °C的温度下保持高达650毫巴的压力。加热的蒸气技术使水分子蒸发，使晶圆表面保持干燥，没有残留水分。资产还具有自动控制和警报功能,可实现无缝自动化和过程控制。通过其PLC控制器，操作员可以准确控制干燥过程的温度、压力和时间。用户友好的控制和易于使用的软件使模型易于操作和维护。SC FLUIDS MEMS Dryer是高通量生产的理想选择。它的最大速率为800晶片/小时，其自动化程序保证了准确的干燥参数。该设备还配有一个安全开关，用于在发生意外事件时紧急关闭。MEMS Dryer是市场上最先进的晶圆加工系统之一。它提供了卓越的准确性、效率和安全措施。它还拥有出色的稳定性、可重复性和灵活性。该系统是需要精确、可靠干燥的MEMS制造的绝佳选择。