二手 SEDECO Vl-1522 #9093784 待售

SEDECO Vl-1522是一种专为先进半导体器件制造而设计的专用、交钥匙晶片加工设备，同时提供最大生产力和最佳效果。Vl-1522的模块化体系结构允许最大程度的灵活性,以满足用户的需求,从简单到复杂的过程。该系统包括200 mm加工台上的200 mm晶圆处理能力,提供了广泛的晶圆载体,可容纳各种晶圆进行处理,使其成为所有类型应用的理想选择。由于集成了高性能晶圆机械手、机械臂和双真空晶圆传输单元，SEDECO Vl-1522提供了非常高的吞吐量。该机器还能够根据用户的需要管理多达4个镀层的工艺罐或工艺模块。Vl-1522采用的先进工艺控制技术能够最大限度地减少总工艺时间，提供卓越的均匀性和产量。SEDECO Vl-1522是一种高度可靠和可重复的工艺解决方桉。其先进的晶圆级温度控制工具提供极精确的过程控制和环境管理，精度为0.1°C。这使得该资产适用于金属、氧化物、聚合物和其他材料的快速热退火、扩散和氧化等各种过程。Vl-1522的晶片负载锁提供超清洁环境，保持1.33毫巴的背景压力。它还包括精度为0.5°C的多区域温度控制,这对于设备制造和高标准的设备性能至关重要。SEDECO Vl-1522是一个高效且经济高效的解决方桉,适用于大批量应用。通过集成传感器、自动化和诊断,它可以减少停机时间并提高生产效率。直观、用户友好的SEDECO软件提供了对模型参数的完全控制，并允许针对特定应用需求进行流程定制。此外，随着客户需求的变化，设备可以很容易地升级为以后的应用。