二手 SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400 #9211636 待售

SEPARATION TECHNOLOGERS AQ 400是为各种应用而设计的先进晶圆处理设备。是基材和加工产品生产、处理、分离的专用系统。它具有处理各种基材尺寸的能力，包括大面积的基材如12英寸晶圆，以及较小的基材如6英寸晶圆。AQ 400利用多种专利技术和工艺,在不影响基板完整性的情况下提供高吞吐量、高精度的分离。采用基于改进版Beakey-Tangen机构的先进分离技术，采用一种新型、精确控制、多方向、低摩擦的光学分离装置，设计用于同时分离大面积基板和小基板。这台机器可以精确、精确地对准晶片表面，以及自动、可重复的工艺周期。为了确保尽可能高的质量，SEPARATION TECHNOLOGRES AQ 400设计了一种自动清洗工具，利用一系列旋转的刷子和高压空气喷射来清除工艺区域的颗粒污染。该资产还配备了一个精确的视觉检查模型，利用一系列相机和显示器来检查每个基板。这样可以确保在进一步加工之前识别和消除基板中的任何缺陷。为了确保一致和可靠的分离性能,AQ 400附带了一套高级过程控制系统。这包括一个在整个过程中保持均匀温度的工艺层温度控制设备，以及一个不断监测基板特性的不规则性或问题的工艺监控系统。此外，该装置还设计了一种高精度的物料处理机，将晶圆和基板从一个加工区转移到下一个加工区。总体而言,SEPARATION TECHNOLOGERS AQ 400是一种通用、高精度的晶圆处理和处理工具。其先进的分离和过程控制系统提供可靠和精确的性能,而其可选的物料处理功能使其能够轻松处理大面积基板。这使得资产非常适合各种应用,从制造到研发。