二手 SIMCO Aerostat PC #9153085 待售

SIMCO Aerostat PC是专为制造高纵横比微结构而设计的最先进的晶圆加工设备。它具有先进的、独立的、闭环的系统-控制过程变量,如容器温度、晶圆速度、等离子体密度和电磁场,以帮助确保晶圆处理的最佳结果。该单元的核心是100 x 100 mm（4 "x4"）等离子体腔，允许晶圆单侧和双侧的大面积蚀刻。这台机器适用于先进的蚀刻技术，如下蚀刻和过度蚀刻、定向蚀刻和各向同性蚀刻。其精确度通过先进的图样化模块进一步提高，该模块具有表面处理、无偏差掩模对准和先进的表面处理等特点。Aerostat PC还提供了许多独特的优势,使晶圆处理更加简单和高效。其高效的原位清洗工具保持了较高的等离子体质量，最大限度地减少了颗粒物污染的机会。此外，它的智能控制能够自动重新校准工件的位置，从而提高整体精度和生产率。资产也极为人性化；其大型液晶触摸屏显示屏可方便操作和监控晶圆蚀刻过程。此外,SIMCO Aerostat PC的设计安全、易于运行：经过电气保护认证,具有自动释放压力模型。总体而言,Aerostat PC是一款可靠、功能丰富且节能的晶圆处理设备。它是从航空航天到半导体等行业的理想选择，为加工质量微观结构提供了绝佳的平台。