二手 SIMCO Aerostat PC #9329105 待售

SIMCO Aerostat PC是由SIMCO Inc设计和设计的晶圆处理设备。该系统专为双蚀刻、等离子体蚀刻、光刻等工艺开发工作而设计。Aerostat PC配备了一个四级工艺室，可以快速设置和转换过程。该室还具有开放式设计，具有短深度的加工室壁和可移动的顶部组件，便于访问和维护。这使得安装和维护比其他晶圆处理系统更快、更简单。SIMCO Aerostat PC还提供了一系列灵活到适合任何应用的过程控制选项。这些功能包括自动气体溷合、压力控制、配方处理以及与各种计量选项的激光对准。它还提供了广泛的流程程序、自动安全联锁和集成诊断,可帮助将因流程错误造成的停机时间降至最低。为了提供最高级别的工艺精度和可重复性,Aerostat PC配备了先进的上下游工艺监控。它包括压力、温度、气体流量、沉积速率等所有临界晶圆处理参数。这个先进的监测单位不仅控制流程，而且还监测流程，以确保质量控制和准确性。这些参数可以实时显示，可用于即时调整工艺配方，以确保最佳处理结果。SIMCO Aerostat PC还设计为提供可靠高效的晶圆级处理环境。它融合了先进的自动化技术，如机器人工具和自动批处理，加快了晶圆处理周期，降低了生产成本，简化了机器的操作。所有工艺配方都存储在工具上，即使没有熟练人员，也可以生产数百个工艺晶片。此外，资产是网络就绪的，可以与其他类型的设备集成。使用Aerostat PC的好处很多。它提供精确的过程控制,保护宝贵的晶圆投资,最大限度地减少停机时间,并显着降低与过程开发和生产相关的成本。此外,它的高级监控功能确保了高质量的输出,直观的设计提供了安全、高效和经济高效的晶圆级处理模型。