二手 SIMCO Aerostat XC #9006700 待售

SIMCO Aerostat XC是一款晶圆加工设备，设计具有最高标准，以实现最大的工艺灵活性和质量控制。该系统用于执行半导体制造商和研究机构提供的各种专有工艺。Aerostat XC是一种自动真空和等离子体处理装置，可配置用于PECVD沉积氧化物、氮化物和其他材料，并蚀刻各种薄膜。它具有精确平衡真空和气体环境的现场污染控制，最大限度地减少了颗粒产生，并提供了清洁的加工环境。这台机器配备了高压等离子体源，设计用于在整个晶圆表面提供等离子体的高均匀性。该工具还配备了全方位的工艺监测和腔室诊断功能，包括能够独立控制每个腔室最多4个独立的射频电源。这使用户能够在多个频率下操作资产,以改善和优化流程一致性。SIMCO Aerostat XC为过程控制提供了最大的灵活性。它提供了一系列完整的实时流程监控功能,使用户能够调整处理条件以获得最佳性能。此外,该模型旨在与其他CAD/CAM软件集成,以实现更复杂的数据收集和控制功能。Aerostat XC也是为了最大安全而设计的。该室用于处理潜在危险的等离子体条件，封闭式手套箱利用HEPA过滤器和双气闸设备最大限度地防止污染物。此外，所有腔室部件和工艺软件的设计都符合严格的安全标准。最后,SIMCO Aerostat XC是为卓越的性能和可靠性而设计的.该系统采用最高质量的组件和工程标准构建,可提供最高效和可重现的过程性能和结果。此外,该单元还有一个承诺的服务和支持团队作为后盾,该团队包括专职服务技术人员,负责即时服务升级。因此,Aerostat XC是一种通用、可靠、高质量的晶圆加工工具。