二手 SIMCO Aerostat XC #9283565 待售

SIMCO Aerostat XC是一款功能强大、用途广泛的晶圆处理设备，适用于广泛的应用。Aerostat XC是一种多罐系统，提供晶圆加工的完整热循环控制，从热循环的开始到结束，均匀地保证晶圆质量和产量。该机组配备了多个坦克，每个坦克都允许精确控制温度、压力和大气。SIMCO Aerostat XC具有广泛的高级功能,在超低流量和高质量通量热流量等功能方面提供了无与伦比的性能,以及复杂的流体模拟功能。Aerostat XC的设计允许高精度晶圆处理。机器装有数字比例阀，用于精确控制每个处理罐内的温度、压力和大气。比例阀能够在整个操作温度范围内保持稳定的温度/压力关系。此外，SIMCO Aerostat XC还配备了一个自动化控制工具，可优化每个过程的定时顺序，同时确保整个过程中热流参数（如流速）保持一致。Aerostat XC还具有一系列先进的热模拟功能,可在整个过程周期中精确控制基板的热轮廓。热模拟功能使SIMCO Aerostat XC能够预测给定晶片对工艺性能影响最大的属性,如热分布、温度均匀性和温度梯度。这使资产能够精确控制优化晶圆质量的参数。XYZ集成系统通过实现先进的动态平衡算法，进一步提高了Aerostat XC的性能。动态平衡算法使SIMCO Aerostat XC即使在高度动态温度变化时也能自动保持所需的温度均匀性。这样可以减少周期时间,提高性能,并确保整个基板的热分布均匀。Aerostat XC是晶圆加工应用的理想工具。SIMCO Aerostat XC凭借其强大的功能和先进的功能,是高效、高质量晶圆加工不可或缺的解决方桉。