二手 SIMCO Aerostat XC #9395465 待售

SIMCO Aerostat XC是为各种应用而设计的多功能自动化晶圆处理设备。它提供了精确可重复性、高速能力和各种晶圆尺寸的独特组合。该系统能够进行各种复杂的操作，如基板加工、器件形成、化学机械抛光（CMP）、电极金属化、化学气相沉积（CVD）和溅射。Aerostat XC是一个多用途晶片处理单元，具有精确的重复性和处理各种晶片尺寸的能力。该机器自动化程度很高，具有集成的流程模块和废水收集系统。此外,该工具还集成了一个高级软件包,该软件包简化了操作并提供自动化的过程管理,以提高生产率。SIMCO Aerostat XC资产采用了独有的统一加热模型，以及高效的温度控制设备。这样可以确保最大程度地重复和统一工艺条件,从而提高工艺产量。此外，Aerostat XC系统利用数字晶圆跟踪单元，确保一致和可重复的结果。SIMCO Aerostat XC机配备了高效的自动化化学输送系统，其中主要选择是化学输送机器人和化学表系统。化学表系统为化学品输送提供了一个经济的解决方桉，并利用一次性容器来维持最高纯度标准。此外，自动化的化学交付机器人确保可靠和可重复的过程和提高生产力。Aerostat XC工具还提供与晶圆交接、用于设备形成的两部分和临时绑定以及各种薄膜沉积技术的集成功能。该资产拥有先进的非接触式工艺传感器和三轴晶圆处理模型，用于校正与热和机械相关的变形。SIMCO Aerostat XC设备非常适合广泛的应用，包括表面加工、器件结构形成、化学机械抛光、电极金属化、化学气相沉积和溅射。它提供了以最具竞争力的成本提供最高质量和吞吐量的全面解决方桉。该系统是针对各种不同晶圆处理应用的高效、灵活、可靠的解决方桉。