二手 SIMCO ST-3 #9294471 待售
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SIMCO ST-3是用于各种应用的最先进的晶圆处理设备。它采用符合人体工程学设计的13英寸液晶触摸屏界面,便于控制系统及其功能。它使用负载端口单元,允许同时从机器加载和卸载多达三个晶圆。ST-3能够每小时处理300个2英寸晶圆,非常适合大批量生产。它还能够处理各种晶圆尺寸,从2"到12",以及一系列厚度可达300 µm。此外,它还提供了一个通用的配方设置工具,允许客户自定义其处理过程以满足其特殊需求。SIMCO ST-3配备了两个隔离系统(在负载端口和处理室中),可以在进程运行之间对腔壁和表面进行出色的清洁。这有助于进一步提高资产的性能和最终产品的质量。ST-3还具有高分辨率离子束监视器,具有一系列测量参数,包括样品温度、光束种类、光束角度、光束电流和光栅偏转。这与SR-25闭环反应堆一起,可以通过实时反馈对参数进行精确的监测和调整。该模型还得到了一系列安全功能的进一步补充,如内置紧急停车、联锁和保障措施。该设备可提供快速的晶片卸载,并具有有效的晶片水压工艺,可确保晶片的高效冷却和干燥,从而实现微粒生成,并有助于保护系统组件和最终产品的质量。SIMCO ST-3晶圆加工厂非常适合研发和大批量生产应用。它是一种高度可靠的机器,坚固耐用,需要最少的维护。其令人印象深刻的性能和优越的产品质量使其成为目前可用的最佳晶圆加工系统之一。
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