二手 SONEX 300 #9215008 待售

SONEX 300是一种自动化晶圆处理设备，用于提高集成电路的质量。它能够提供高吞吐量、高产量和可靠的工艺结果,而且非常灵活。该系统由两个主要组件组成：一个机器人装载机/卸载机和一个化学处理模块。机器人装载机/卸载机一次最多可以移动四个晶片进入一个进程，并且可以处理直径最大为三英寸的晶片尺寸。它还包括用于处理和旋转夹紧晶片的夹具和屏障，以及自动视觉选项。化学处理模块包含一个多级处理容器，用于化学浴池、清洁剂和蚀刻溶液。这些浴池中充满了溶液，这些溶液用于从晶圆表面去除图样化的光刻胶。设备可以同时执行批处理和串联操作,从而实现更大的灵活性和对过程结果的控制。另外，300台机器配备了闭环控制工具，可以精确控制晶圆处理参数。资产还包括一个可选的温度调节烘干机，用于在晶片加工完成后进行干燥。这种烘干机有助于减少氧化和防止晶片表面的污染。总体而言，SONEX 300晶片加工模型旨在提高集成电路晶片制造的产量、性能和可靠性。它是一种先进的设备，可以高效生产高质量的集成电路。