二手 SONGMAO SM-60120ULH #9315465 待售

SONGMAO SM-60120ULH是一种高性能晶圆加工设备，旨在为工业和研究应用提供可靠和高效的生产。该系统是一个完全自动化和灵活的平台，能够处理各种格式和大小的基材。该设备具有较大的工作区,可提供出色的基板吞吐量以保持生产率。超低载荷高度（ULH）降低了基板上的应力，从而改善了基板质量。出色的低级噪声和隔振进一步加强了这一点，有助于减少潜在的污染。该机配备了高精度的晶圆传输底盘，允许雨刷和基板的精确定位和对准。利用先进的运动控制平台使SM-60120ULH的控制和自动化成为可能。这个最先进的平台提供了许多功能，包括温度控制、定时和运动控制，以及调整各种电机参数的能力。此外,还可以设置该工具,并以各种自动和手动模式运行。数据收集和生产分析可以使用各种软件包进行，允许用户跟踪和监控每个加工过的晶片的质量。资产可以配置各种工艺工具，包括光刻系统、蚀刻系统和其他工艺工具。此外,该型号还可与EQ洗涤器、防旋转器和干蚀刻器兼容,从而提供额外的灵活性。SONGMAO SM-60120ULH带有微处理功能，允许对每个工艺配方的精确参数进行精确设置。除了上述特点外，SM-60120ULH还配备了若干安全装置，包括操作时保护敏感区域的机械快门，以及警告潜在危险的光学安全眼睛。该设备还具有一个软启动开关以减少操作冲击,以及一个故障安全开关以实现紧急情况下的快速关闭。总体而言，SONGMAO SM-60120ULH是一个全面、通用的晶圆处理系统。它能够使用各种工具和工艺处理各种基材，并能够收集和分析生产数据，使其成为高性能工业和研究晶圆加工的理想选择。