二手 SONICOR CLDR-70ZFX #148990 待售
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ID: 148990
Vapor degreaser
Solvent boiling point: 1300°F to 2500°F
Includes:
High sump temperature thermostat
High vapor level thermostat
Low level switches
Hi-low pressure switch in refrigeration system
Primary condensing unit
Freeboard chiller condensing unit.
SONICOR CLDR-70ZFX是一种可现场编程的自动化晶片处理设备,专为各种材料的单晶片和多晶片处理而设计。它的设计目的是提供准确和可重复的处理,同时尽量减少人力监督,并且能够同时使用标准和定制晶圆处理应用程序。该系统的主要部件包括几个气态处理室、一个真空室和一系列机械臂。气体处理室是将各种气体和液体溷合在一起的地方,用于将薄膜或电镀沉积到晶片上。真空室用来制造真空,以维持清洁、无颗粒的环境。这一系列的机械臂被用来在各个腔室之间移动晶片,并将其精确地放置在基板上。每个晶片在加工过程中被放置在一个专门的压板中,在这个过程中保护基板。该压板也用于调节过程中的温度和压力。除了自动化组件外,该单元还具有符合人体工程学设计的控制面板和直观的用户界面。通过此控制面板,用户可以实时控制流程参数和监视模式化流程。CLDR-70ZFX能够实现分辨率低至0.1微米的亚微米分辨率,从而能够准确、一致地生产图案化晶片。此精度允许更精细的结构、更高的产量和改进的设备性能。SONICOR CLDR-70ZFX的设计也考虑到了安全特性。该机器采用备用电源和故障检测系统等冗余安全机制,以确保操作员的安全,防止设备受到任何损坏。CLDR-70ZFX自动晶片处理工具对于那些寻求可靠、自动化晶片处理资产的人来说是一个通用且可靠的解决方桉。该模型提供了可靠和可重复的薄膜沉积和亚微米分辨率模式,允许精确和一致的生产图案晶片与最低限度的人的监督。
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