二手 SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306 待售
网址复制成功!
SONOMAXS MH2014D/ FC2025是一种多功能、多应用、其他晶圆处理设备,设计用于生产集成电路、微机电系统(MEMS)和薄膜光学元件。它能够在环境污染最小的情况下处理硅、砷化氙和多晶硅晶片。系统的主要部件包括基板输送单元、基板处理程序、主框架、晶圆载体和光学投影/曝光机。基板输送工具旨在将晶片从负载端口移动到基板处理程序。它有一个三轴线性级,确保在三个维度上精确的片材和晶圆定位。基板处理程序最多可容纳20个晶圆载波。它有一个可以旋转到600 rpm的旋转电动机。此外,导杆和密封板确保晶片的精确和安全处理。主框架由不锈钢和硬化合金钢组合而成,耐用。它容纳了所有的资产组成部分,设计用来抵御污染以及散热整个模型产生。晶片托架在晶片从基材处理器移动到整个加工室时牢固地固定着晶片。晶片载流子的设计使晶片处理和污染最小化。光学投影/曝光设备设计用于执行光刻、计量和电子束曝光。它利用科学的互补金属氧化物半导体相机和光纤激光进行精确成像。曝光过程通过扫描控制软件精确控制。此外,光纤激光器为精确成像提供了强大的输出.最后,系统通过基于Windows的图形用户界面操作。它包括预先配置的工艺配方,以及自定义和编辑这些配方以满足特定行业要求的能力。该设备还允许远程访问和控制,以便对计算机的进程进行当前和远程监视。总之,MH2014D/ FC2025是一种多功能、多应用、其他晶圆处理工具,设计用于生产集成电路、微电子机械系统(MEMS)和薄膜光学元件。它是一种高度通用的资产,具有精确的成像功能以及用于可靠操作的温度和污染控制模型,是广泛应用的理想解决方桉。
还没有评论