二手 SSP FPS-7000 #9256432 待售
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SSP FPS-7000设备是一种紧凑的晶片处理系统,旨在高效可靠地启动以满足大批量生产需求。它为任何洁净室环境提供了所有必要的工具和功能,其模块化结构使其成为一种高度通用的工具,适合各种操作。FPS-7000由两个加工室和一个主装卸区组成。每个腔室都配有符合10级洁净室的真空泵,产生极低的颗粒速率。腔室还包括用于操作的触摸板、遥控访问以及一个可选的传送带,可以方便地装卸晶片。SSP FPS-7000由综合控制单元提供动力,该单元结合了运动和真空控制,为用户提供精确控制和灵活性。控制机配备了多种编程选项,以提高流程效率,最大限度地减少错误。该工具还设计为与一系列工艺参数和清洁化学特性兼容,允许用户针对特定环境和应用需求定制操作。对于温度控制,FPS-7000具有完全集成的管理资产。该模型利用空气冷却和液体冷却技术来保持工艺室内的精确温度。它还包括一个内置的热电偶设备,允许快速反应处理变化,并帮助减少氧化或损坏的风险,由于过热。该系统还包括多种晶圆处理工具,允许用户灵活操作,拓展流程能力。这些工具包括机械臂、捕手臂、晶圆图和晶圆翻转站等。总体而言,SSP FPS-7000单元是一种高效灵活的晶圆加工机.其可靠和用户友好的特性使其成为任何洁净室环境的理想工具。此工具还可以轻松定制,以满足任何特定的工艺要求,从而在生产需求方面实现大量的多功能性和准确性。
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