二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL是一种半导体晶圆处理设备，设计用于满足复杂设备应用的各种晶圆处理需求，包括MEMS（微机电系统）和MEMS/CMOS（互补金属-氧化物-半导体）设计。TREK Triton 221 MIL能够对直径达8英寸/200毫米的全尺寸晶片进行掩蔽和蚀刻,是一系列先进技术开发和生产过程的关键部分。WESTEK Triton 221 MIL由一个装有发动机、电源和控制器模块的主机柜和一个装有定制真空系统的腔室组成。它配备了一个大幅面的机器人装载机，可以处理高达200毫米的晶片，同时提供卓越的精度和可移动部件的可重复性。通过带有"直观"图形用户界面（GUI）的PC界面对设备进行控制,该界面可轻松访问所有主要的计算机功能。该工具还包括各种集成工艺选项，以促进各种半导体器件处理需求。Triton 221 MIL具有各种蚀刻选项,包括反应性离子蚀刻（RIE）和深度反应性离子蚀刻（DRIE）,可提供卓越的性能。在较高的温度和较高的精度（低于1埃分辨率）下,它们提供高达1微米/分钟的蚀刻速率。蚀刻工艺利用工艺气体和完全可编程的偏置电压进行保形蚀刻，使复杂形状的蚀刻具有更高的均匀性。可选的掩蔽资源与STOELTING Triton 221 MIL集成,旨在为MEMS和MEMS/CMOS结构提供有效的晶片掩蔽。它具有自动对齐的特点，可以精确对齐标记工具，以实现光刻材料的一致应用。掩蔽模型还包括DVD自动刮擦功能,可在蚀刻前去除不需要的光刻胶。STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL是为了极致的可靠性而设计的，具有一系列的安全感应器来侦测关闭条件，以及一个腔室压力监测设备，如果超过设定的点将会自动关闭单元。该系统还包括一个维护程序,该程序可以安排或设置为定期触发警报消息,以确保设备保持良好的工作状态。总体而言，TREK Triton 221 MIL是半导体晶圆加工机的绝佳选择，为复杂的设备应用提供准确可靠的蚀刻和掩蔽工艺。该工具易于使用和维护,可选的掩蔽资源使其成为MEMS/CMOS开发和生产过程的理想选择。