二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #129982 待售
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ID: 129982
Aqueous board cleaner
Maximum board size: 14"
Stainless steel recirculation plumbing
High pressure / high volume stainless pumps
Centrifugal high pressure blower
230 VAC, 130 Amps.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton I是一种晶圆加工设备,设计用于尖端制造微纳米级MEMS器件、光电等高精度元件。这个最先进的系统具有独特的"烹饪冷却"工艺,能够精确控制整个制造过程中热和化学过程的输送。TREK Triton I还提供了一系列晶圆尺寸,以实现各种基板的最佳性能-从半导体晶圆到玻璃基板-以及几种不同的沉积、蚀刻或组合加工工艺室。WESTEK Triton I配备了最新的晶圆处理软件,具有易于使用的图形用户界面(GUI)和简化的导航功能。其先进的控制算法允许方便的设置和操作,用户还可以添加自定义命令和配方以适应特定的要求。该装置的自动化腔室和气体输送系统还允许操作员在工艺和基板之间快速切换,从而节省了时间和成本。Triton I的集成自动对准和晶圆识别系统在对准和处理速度方面提供了最佳精度,而其强大的扫描和图像捕获机则允许对成品材料进行超精确的检查。该工具还具有集成的真空资产,可实现快速、安全和清洁的操作。STOELTING Triton I因其较大的工艺室尺寸,在光电等大型部件的制造中特别有用。腔室可容纳各种基材,从小到大的密封或未密封基材,最大基材尺寸可达300毫米。它还具有集成的等离子体蚀刻能力,以及反应性离子和等离子体增强化学气相沉积。所有这些功能使STOELTING/TREK/WESTEK Triton I具有处理传统和定制制造需求的多功能性。TREK Triton I为制造MEMS传感器、光学元件、MEMS执行器和高端MOEMS(光学微机电系统)等应用提供了最高水平的精度。它设计得非常快和可靠,能够优化制造周期和高吞吐量。同时,其创新技术为用户提供了最大的安全性,以及出色的重复性和人性化操作。WESTEK Triton I是那些在晶圆处理系统中寻找终极目标的人的答桉。
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