二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #9205019 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton I晶圆处理设备是一种由储能和以太网制造、TREK和WESTEK开发的强大且高度自动化的技术。它具有先进的晶圆处理能力和集成的处理解决方桉，旨在提供最高水平的生产吞吐量。针对集成电路、平板显示器和先进设备技术的生产实现最大吞吐量速度和严密过程控制进行了优化。该系统配备了最先进的、灵活的晶片处理技术。它拥有先进的晶片处理解决方桉，包括带有微型卡盘和集成传感器的晶片加载平台，以实现精确处理。安装在平台上的原位炮塔在插入后自动识别晶片，并将其定向到腔室中。它还通过其基于编码器的单元提供实时腔室位置反馈。该机还提供了广泛的工艺能力，包括快速退火、原位氧化蚀刻沉积（OED）、PECVD和热壁-AMI。它能够在从-50˚c到1200˚c的温度范围内运行，允许在运行过程中支持高达6,912个介电层的工艺温度和显示低泄漏电流的掺杂物水平。TREK Triton I还配备了全套安全和端点监控功能。其先进的控制和监控工具为用户提供了对所有参数的完全控制，以确保最高的工艺产量。这包括根据一系列自定义度量来调整温度、压力和大气水平的能力。此功能还允许减少停机时间和生产故障。WESTEK Triton I晶圆处理资产是一项功能强大且全自动的技术,其集成的处理解决方桉和先进的晶圆处理能力旨在产生最高的生产吞吐量。它是使用现有的最先进的材料和工艺制造的,旨在为用户提供所有必要的工具,以确保以可靠和高效的生产解决方桉获得最大的产量。