二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9007161 待售
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ID: 9007161
SMT system
Stainless steel mesh belt, 18" usable
Upper and lower prewash spray bars from 10 HP heated wash pump
(4) Upper and (4) lower wash spray bars from same 10 HP heated wash pump
Stage 1:
Upper SST Airknife and SST lower Airknife supplied by first 15 HP blower in dry section
Stage 2:
Wet isolation with upper and lower spray bar from 10 HP heated rinse pump
Stage 3:
SST upper Airknife and SST lower Airknife from first 15 HP blower in dry section
(3) Upper and (3) lower spray bars from 10 HP heated rinse pump
Upper and lower final rinse spray from DI supply
15 HP Turbine blower with (2) upper and (1) lower SST Airknives
15 HP Turbine blower with (2) upper and (2) lower SST Airknives
Upper IR heater penel with temperature controller
460 V, 3 phase, 180 A.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL是专为先进半导体制造作业而设计的综合性、高性能晶圆加工设备。该系统具有4轴旋转台、一次最多可容纳10个晶片的对接站以及用于晶片表面现场检测的专利晶片检测技术。TREK Triton IV MIL为实现最高的效率和吞吐量而设计,利用最新技术提供自动晶圆热处理。旋转台允许晶片旋转，精确、重复地控制加热。对接站配有温度和压力传感器，可连续监控晶圆温度，并确保其在每个周期内保持均匀。获得专利的晶片检测技术包括光二极管传感器阵列和发光二极管（LED），它们扫描晶片表面并检测任何异常。该单元具有广泛的自定义选项,允许用户微调处理参数以满足特定的需求和目标。这包括对材料和气体的全面选择，以满足几乎任何晶圆的建造要求。WESTEK Triton IV MIL的灵活性允许用户根据自己的特定产品需求量身定制流程。Triton IV MIL还提供自动数据记录、分析和机器监控功能,可提供有关刀具性能和准确性的宝贵信息。温度和压力传感器的数据记录在整个过程中，并进行分析，提供有关所达到的温度均匀性和过程中的任何差异或差异的详细信息。系统监控功能提供来自资产的持续反馈,确保最佳性能和准确性,以及安心。STOELTING Triton IV MIL代表晶圆处理系统的巅峰，提供卓越的性能、灵活性、准确性和数据管理能力。由于能够处理任何类型的晶圆，这种综合模型对于任何先进的半导体制造操作都是一种非常宝贵的工具。
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