二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9374717 待售
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STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL是为先进材料研究应用而设计的最先进的其他晶圆加工设备。该系统是先进的化学机械平面化单元(CMP)。CMP技术用于通过化学和机械过程从晶片表面去除材料。TREK Triton IV MIL机采用独特的双级头设计,包括浆液分散头和旋转抛光头。泥浆分散头是一种洗涤装置,用于将化学溶液分散到晶圆表面上。旋转抛光头用于机械抛光晶片表面。这种双级磁头设计使WESTEK Triton IV MIL能够比其他CMP系统以更高的精度和效率工作。STOELTING Triton IV MIL具有广泛的晶圆尺寸,可以处理。其晶圆夹紧机构最多可支撑300 mm晶圆。该工具具有高度可扩展性,可容纳从小型单室系统到大型多室系统的各种腔室尺寸。Triton IV MIL具有自动机器人装载机,使晶片能够快速高效地装入资产。它还具有晶片表面条件和侵蚀传感器,可以在CMP过程中连续监测晶片表面。传感器能够检测到表面状况的任何变化,从而使模型能够对CMP过程进行实时调整。STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL配备了先进的控制设备,提供全面的诊断和故障排除功能。该系统具有广泛的输出功能,允许用户轻松分析流程数据,从晶圆特征日志文件到晶圆属性,再到趋势数据。TREK Triton IV MIL是一种坚固可靠的设备,具有广泛的特性和功能。它是先进材料研究应用的理想单元,提供市场上其他CMP系统无法找到的精确度和准确性。Triton IV是寻求高效的其它晶圆处理解决方桉的用户的绝佳选择。
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