二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV是为晶圆製造而设计的高品质、工业级的製程设备。该系统是一个完全自动化、模块化和灵活的解决方桉,可满足当今半导体晶圆处理需求。TREK Triton IV可用于化学机械平面化（CMP）、化学气相沉积（CVD）、扩散、蚀刻、离子植入、光刻、腌制、计量、等离子体/真空沉积、自旋电介质、晶圆探查。此外，这一单元被设计为在高达洁净室1级的环境中运行，使其适合苛刻的流程。WESTEK Triton IV具有强大的集成控制机器，允许用户使用直观的图形用户界面对工具进行编程和监控。控制资产建立在开放标准的基础上，适合与各种各样的软件包一起使用。集成控制模型提供了一个全面的、分步的流程控制和主动管理的流程跟踪。这样可以确保在整个过程中准确维护流程参数,从而获得高度可靠和可重复的结果。该设备还提供最多五个可编程的设定点，允许用户定义化学和物理过程条件，以优化过程结果。STOELTING Triton IV提供了一系列环境和系统监控功能。这包括温度控制环境,可根据所使用配方的类型调整可选择的设置点。该单元还利用实时流程监测，具有集成气体传感功能，允许用户定制流程条件以匹配所使用的应用程序。此外，Triton IV还包含多个安全功能，包括警报系统和手动覆盖，以确保用户在发生意外过程事件时的安全。这台机器的设计可容纳范围广泛的晶圆尺寸，从200毫米到300毫米不等。它配有一个内部真空歧管用于全晶片处理，或最多12个单独的过程模块用于分裂晶片处理。该工具还与大多数标准工艺室兼容，包括负载锁、预对齐器和后对齐器。最后,STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV提供了一系列服务和支持包,确保用户在安装、操作、维护和维修方面获得所需的技术帮助。